Kvarcinių plokštelių substratas
Kvarcinių plokštelių substratai – tai plokštelės, daugiausia pagamintos iš didelio{0}}grynumo kvarco (SiO₂), plačiai naudojamos puslaidininkiuose, optoelektronikoje, mikro-elektromechaninėse sistemose (MEMS), optiniuose įrenginiuose ir kitose srityse.
Aprašymas
Medžiagos savybės
- Didelis grynumas:Paprastai pagamintas iš sintetinio kvarco (pvz., lydyto silicio dioksido), itin didelio grynumo (didesnis arba lygus 99,99 %) ir minimalių priemaišų, kad nebūtų pakenkta įrenginio veikimui.
- Terminis stabilumas:Mažas šiluminio plėtimosi koeficientas (≈0,55 × 10⁻⁶/laipsnis) ir atsparumas aukštai -temperatūrai (minkštėjimo temperatūra ~1600 laipsnių), tinka aukštos temperatūros procesams.
- Optinis našumas:Platus perdavimo diapazonas (UV iki IR), išskirtinis UV pralaidumas, idealiai tinka fotokaukėms, lęšiams ir kt.
- Cheminis inertiškumas:Atsparus rūgštims ir šarmams (išskyrus vandenilio fluorido rūgštį), tinka šlapio ėsdinimo procesams.
- Elektros izoliacija:High resistivity (>10¹⁶ Ω·cm), idealiai tinka izoliuoti substratus arba aukšto dažnio įrenginius.
Programos
Puslaidininkių gamyba
- Fotokaukės substratai
- EUV litografijos komponentai
- Plokščių apdorojimo laikikliai
Fotonika ir optoelektronika
- Optinio bangolaidžio substratai
- Lazerinio diodo montavimas
- Kvantinio skaičiavimo komponentai
Specializuotos programos
- MEMS rezonatorių bazės
- Kosminio teleskopo optika
- Didelės-energijos lazerinės sistemos
Gamybos procesas
- Žaliavų sintezė:Gaminamas nusodinant garais (pvz., oksiduojant SiCl₄) arba gryninant natūralų kvarcą.
- Lydymas ir formavimas:Lydymas aukštoje{0}}temperatūroje, po kurio atšaldomas į luitus arba tiesioginis tempimas į strypus.
- Pjovimas:Supjaustoma plonais vafliais, naudojant deimantinius pjūklus arba pjovimą lazeriu.
- Šlifavimas ir poliravimas:Naudojant cheminį mechaninį poliravimą (CMP) pasiekiamas nanometro{0}}lygio lygumas.
- Valymas ir patikra:Dalelių ir metalo teršalų pašalinimas, po kurio atliekamas defektų ir parametrų patikrinimas.
Savybės
|
Fizinės savybės |
Vertybės |
|
Grynumas |
＞99.99% |
|
Tankis |
2,2g/cm3 |
|
Skaidrumas |
＞90% |
|
Moho kietumas |
5.5--6.5 |
|
Deformacijos taškas |
1280 laipsnių |
|
Minkštėjimo taškas |
1750 laipsnių |
|
Atkaitinimo taškas |
1250 laipsnių |
|
Savitasis karštis (20 - 350 laipsnis) |
670J/kg. laipsnį |
|
Šilumos laidumas (20 laipsnių) |
1,4W/m. laipsnį |
|
Šilumos laidumas (w/mk, 1000 laipsnių) |
1.0-1.2 |
|
Lūžio rodiklis |
1.4585 |
|
Šiluminio plėtimosi koeficientas |
5.510 -7cm/cm. laipsnį |
|
Karšta - darbinė temperatūra |
1750-2050 laipsnių |
|
Trumpalaikė - aptarnavimo temperatūra |
1450 laipsnių |
|
Ilgalaikė - aptarnavimo temperatūra |
1100 laipsnių |
|
Cheminės savybės |
Vertybės |
|
Atsparus rūgštims |
Stipri rūgštis (išskyrus HF), stiprus šarmas, organinis tirpalas |
|
Aukšta temperatūra Atsparus korozijai |
Puikiai |
|
Metalo priemaišų kiekis |
＜5 ppm |
|
Elektrinės savybės |
Vertybės |
|
Atsparumas |
7107Ω.cm |
|
Izoliacijos stiprumas |
250~400Kv/cm |
|
Dielektrinė konstanta |
3.7~3.9 |
|
Dielektrinės sugerties koeficientas |
＜410-4 |
|
Dielektrinių nuostolių koeficientas |
＜110-4 |
|
Mechaninės savybės |
Vertybės |
|
Suspaudimo stiprumas |
1100 MPa |
|
Lenkimo stiprumas |
67 MPa |
|
Tempimo stiprumas |
48 MPa |
|
Puasono koeficientas |
0.14~0.17 |
|
Youngo modulis |
72000 MPa |
|
Šlyties modulis |
31000 MPa |
DUK
1 klausimas: koks didžiausias galimas kvarco plokštelių substrato dydis?
A: Standartinė gamyba iki 300 mm skersmens, su 450 mm prototipais, skirtais moksliniams tyrimams ir plėtrai.
2 klausimas: ar galite pateikti pritaikytus storio profilius?
A: Taip - galime pagaminti:
- Pleištinės plokštelės (skirtos lazeriui)
- Tikslus kūginis dizainas
- Mesa-struktūriniai paviršiai
3 klausimas: kokį valymo protokolą rekomenduojate?
A: Standartinis RCA valymo procesas:
1. Organinis pašalinimas (H2SO4:H2O2)
2. Joninis valymas (HCl:H2O2)
3. HF-paskutinis hidrofiliniam paviršiui
Populiarus Žymos: kvarco plokštelių substratas, Kinijos kvarco plokštelių substrato gamintojai, tiekėjai, gamykla
Siųsti užklausą
Tau taip pat gali patikti
